以無生命微粒為控制的對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)(半導體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。電子工廠潔凈廠房的設(shè)計、建造必須適應電子行業(yè)快速發(fā)展的需要。從潔凈廠房的規(guī)劃開始,對于電子工廠潔凈廠房的工藝設(shè)計、工藝布局應充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求。同時考慮系統(tǒng)的節(jié)能運行。

GB50472-2013潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

GB50472-2008-電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

■ 服務(wù)領(lǐng)域：精密機械制造、汽車零部件生產(chǎn)、電訊設(shè)備制造、光學儀器儀表生產(chǎn)等。

■ 重點注意事項：

1、人流

1-1、人員凈化：

1-2、潔凈室入口宜設(shè)空氣吹淋室。當不設(shè)空氣吹淋室時，應設(shè)氣閘室；

1-3、單人空氣吹淋室，應按最大班人數(shù)30人設(shè)一臺。潔凈室人員超過5人時，空氣吹淋室一側(cè)應設(shè)單向旁通門；

1-4、空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟，應采取連鎖控制措施；

1-5、空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室，宜設(shè)氣閘室。

2、物流

2-1、潔凈室內(nèi)的設(shè)備和物料出入口，應獨立設(shè)置，并應根據(jù)設(shè)備和物料的特征、性質(zhì)、形狀等設(shè)置凈化用室及相應的物凈設(shè)施。

2-2、物料凈化用室與潔凈室之間應設(shè)置氣閘室或傳遞窗。

3、靜壓差

3-1、不同等級的潔凈室之間的靜壓差應大于等于5Pa；

3-2、潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應大于5Pa；

3-3、潔凈室與室外的靜壓差應大于10Pa。